Abbildung von Schnitten durch p/n-Übergänge im Rasterelektronenmikroskop mittels strahlinduzierten Stromes bei niedrigen Beschleunigungsspannungen
By: Reinhard Kuhnert
Contributors: Technische Universität München
Published: 1989
Place of publication: München
Language: ger
Number of pages: 121
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität München, 1989.