Ein Beitrag zur automatischen Korrektur des Proximity-Effektes in der Elektronenstrahl-Lithographie
By: Ernst Kratschmer
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Publisher: [s.n.]
Published: 1982
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 114
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1982.