Entwicklung eines anodischen Vakuumbogens zur Abscheidung von Cu-Schichten und Untersuchung der Korrelationen zwischen Plasmaparametern und Schichteigenschaften
By: Michael Mausbach
Contributors: Universität Essen
Publisher: [s.n.]
Published: 1994
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 145
Notes: Thesis (doctoral)--Universität-GH-Essen, 1994.