Mikrosystemtechnik
Subtitle: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen ; mit 13 Tabellen
By: Ulrich Hilleringmann
Edition: 1. Aufl.
Series: Lehrbuch
Publisher: Teubner
Published: 2006
Place of publication: Wiesbaden
Language: ger
Number of pages: 271
ISBN-13: 9783835100039
Subjects: Mikrosystemtechnik; Microtechnology
Notes: Literaturverz. S. [261] - 264.