Ein Beitrag zur automatischen Markenerkennung in der Elektronenstrahl-Lithographie
By: Dietrich Stephani
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1981
Language: ger
Number of pages: 136
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1981.