Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren
By: Ulrike Wallrabe
Contributors: Universität Karlsruhe
Edition: Als Ms. gedr.
Publisher: Kernforschungszentrum
Published: 1992
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 83
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Fridericiana zu Karlsruhe, 1992.