Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme  mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung
Publisher: Shaker Verlag
Published: Feb 01, 2005
Format: paperback
ISBN-13: 9783832236274
Notes: Source title: Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung