Auflösungsgrenzen bei der Reparatur klarer Defekte auf Masken für die Röntgenstrahllithographie mittels laserinduzierter Abscheidung
By: Renate Putzar
Contributors: Technische Universität Berlin
Published: 1991
Language: ger
Number of pages: 126
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität Berlin, 1991.