Technologien für Mikrosysteme
Subtitle: Stand und Entwicklung : integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
By: Magdala Gronau (Hrsg.) ; Joachim Hafkesbrink ... [et al.].
Contributors: Gronau, Magdala.; Hafkesbrink, Joachim.
Series: Mikro- und Nanotechnik
Publisher: VDI Verlag
Published: 1993
Place of publication: Düsseldorf
Language: ger
Number of pages: 221
Subjects: Miniature electronic equipment.; Electronic industries -- Technological innovations.
Notes: Includes bibliographical references (p. 203-208).