Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen
By: J. Zanghellini, A. El-Kholi, J. Mohr
Contributors: El-Kholi, A.; Mohr, J.; Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt; Universität Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 6114; Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt) -- FZKA 6114
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 1998
Place of publication: Karlsruhe [Germany]
Language: ger
Number of pages: 74
Other titles: Development behaviour of complex LIGA-microstructures.
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1998.

Summary in English.