Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemenów
By: Jan A. Dziuban
Publisher: Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
Published: 2002
Place of publication: Wrocław
Language: pol
Number of pages: 345
ISBN-13: 9788370856342
Notes: Includes bibliographical references.