Entwicklung und Anwendungen eines miniaturisierten Linearantriebs mit Sub-Nanometer-Präzision und Millimeter-Stellweg
By: Stephan Kleindiek
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1996
Language: ger
Number of pages: 102
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1996.