Kalte Plasmen
Subtitle: Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Published: 1990
Place of publication: Berlin, Heidelberg
Language: ger
Format: Elektronische Ressource
ISBN-13: 9783662080450
Subjects: Glimmentladung; Sputtern; Kaltes Plasma; Trockenätzen
Notes: Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA