Plasmainduzierte Gasphasenabscheidung von Kupfer, Niobium und Vanadium
By: Lutz Deutschmann
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1991
Place of publication: Tübingen
Language: ger
Number of pages: 157
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1991.