Charakterisierung von Oberflacheneigenschaften und mikrotribologischen Wechselwirkungen an Si- und SiC-Einkristallen mit dem Rasterkraftmikroskop
By: Klaus Pohlmann
Contributors: Forschungszentrum Karlsruhe; Universität Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 6503; Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) -- FZKA 6503
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 2000
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 150
Other titles: Characterization of surface properties and microtribological interactions on single-crystal Si and SiC using atomic force microscopy.
Notes: "Von der Fakultat fur Maschinenbau der Universitat Karlsruhe (TH) genehmigte Dissertation."

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe (T.H.), 2000.

Summary in English.