Mikromechanik
Subtitle: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Edition: 1. Aufl. 1989. 2. Nachdruck edition
Publisher: Springer
Published: October 17, 1994
Language: ger
Format: Hardcover
Number of pages: 501
ISBN-13: 9783540187219
Subjects: Electronics - Microelectronics; Industrial Engineering; Mechanical; Feinwerktechnik; Mikromechanik; Mikrotechnik; Technology / Engineering / Industrial; Technology & Industrial Arts