Modellierung und Simulation der Silizium-Gasphasenpitaxie
By: Victor Lewe
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1982
Language: ger
Number of pages: 115
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1982.