Protonendotierung von Silizium
Subtitle: Untersuchung und Modellierung protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium
Publisher: Springer Vieweg
Published: Oct 08, 2014
Format: paperback
Number of pages: 332
ISBN-13: 9783658073893
Notes: Source title: Protonendotierung von Silizium: Untersuchung und Modellierung protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium (German Edition)