Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL)
By: S. Achenbach, F.J. Pantenburg, J. Mohr
Contributors: Pantenburg, F. J.; Mohr, J. (Jürgen); Forschungszentrum Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 6576; Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) -- FZKA 6576
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 2000
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 138
Other titles: Optimization of the process conditions for the fabrication of microstructures by ultra deep x-ray lithography (UDXRL)
Notes: "von der Fakultat fur Maschinenbau der Universitat Karlsruhe (T.H.) genehmigte Dissertation"

Summary in English.