Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
By: Andreas Michel
Contributors: Michel, A.; Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Mikrostrukturtechnik; Universität Karlsruhe
Series: KfK (Series) -- 5171
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe
Published: 1993
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 84
Other titles: Technique of application of mechanical microstructures onto microelectronic circuits.
Notes: Summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1993.