Aufbau einer Molekularstrahlepitazie-Anlage zur Herstellung von CoSi₂/Si-Heterostrukturen und in Silizium vergrabener SiO[subscript x]-Schichten sowie Charakterisierung dieser Schichtsysteme
By: Marcus Hacke
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1996
Language: ger
Number of pages: 195
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1996.