Design, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Gyrometers auf der Basis der LIGA-Technik
By: K. Schumacher, U. Wallrabe, J. Mohr
Contributors: Wallrabe, U.; Mohr, J.; Forschungszentrum Karlsruhe; Universität Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 6361; Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) -- FZKA 6361
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 1999
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 110
Other titles: Design, production, and characterization of a micromechanical gyroscope on the basis of LIGA technology.
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe (T.H.), 1999.

Summary in English.