Ein überlastsicheres, mit Mikromechanik hergestelltes Array von Abolutdrucksensoren und ein Differenzdrucksensor mit optimierter Fertigungsausbeute
By: Masoud Habibi
Contributors: Universität Stuttgart
Published: 1995
Language: ger
Number of pages: 105
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Stuttgart, 1995.