Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung
By: Autoren, Hans-Ullrich Poll ... [et al.].
Contributors: Poll, Hans-Ullrich.
Series: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt,; 4/1985; Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ;; 1985/4.
Publisher: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt, Sektion Physik/Elektronische Bauelemente
Published: 1985
Place of publication: [Karl-Marx-Stadt]
Language: ger
Number of pages: 73
Subjects: Plasma engineering.; Plasma etching.; Plasma electrodynamics.
Notes: Bibliography: p. 68-73.