Mikrosystemtechnik
By: 4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 11./12. Oktober 1999. Technische Universität Chemnitz.
Publisher: Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik
Published: 1999
Place of publication: Chemnitz
Language: ger
Number of pages: 185