Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA-Technik
By: B. Kowanz, W. Ehrfeld
Contributors: Ehrfeld, Wolfgang, 1938-; Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Mikrostrukturtechnik; Universität Karlsruhe. Fakultät für Maschinenbau
Series: KfK (Series) -- 4886
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe
Published: 1991
Place of publication: Karlsruhe [Germany]
Language: ger
Number of pages: 90
Other titles: Systems engineering analysis and development of a microvalve by the LIGA process.
Notes: Summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe.