Implantations d'ions H+ et BF2+ dans du silicium par faisceau et immersion plasma. Application aux cellules solaires
By: Damien Barakel ; sous la direction de Santo Martinuzzi
Contributors: Université de droit, d'économie et des sciences d'Aix-Marseille
Published: 2004
Language: fre
Number of pages: 137
Notes: Thesis (doctoral)--Université de droit, d'économie et des sciences d'Aix-Marseille, 2004.