Hochauflösende Elektronenstrahl-Lithographie zur gezielten Herstellung lateraler Strukturen unterhalb 100nm
By: Volker Bögli
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1988
Language: ger
Number of pages: 121
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1988.