Selektive Silizium-Niederdruck-Gasphasenepitaxie
By: vorgelegt von Hans Kürten
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1991
Language: ger
Number of pages: 128
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1991.