Theorie der Reaktionskinetik an Festkörperoberflächen
By: Uwe Hansen
Edition: 1. Aufl.
Series: Selected topics of semiconductor physics and technology -- v. 27 = -- Ausgewählte Probleme der Halbleiterphysik und Technologie; Ausgewählte Probleme der Halbleiterphysik und Technologie -- v. 27.
Publisher: Förderung des Walter Schottky Instituts der Technischen Universität
Published: 2000
Place of publication: München
Language: ger
Number of pages: 119
Subjects: Metallic films; Surfaces; Sputtering (Physics); Semiconductor films; Chemical kinetics
Notes: Thesis (Dr. rer. nat.)--Technische Universität München, 2000.

Includes bibliographical references (p. 109-117).

Summary in English.