Herstellung von Dünnschichtkondensatoren durch reaktives und ionenunterstütztes Aufdampfen
By: Walter Kübler
Contributors: Universität Karlsruhe
Publisher: [s.n.]
Published: 1987
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 117
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Fridericiana zu Karlsruhe, 1987.