Grundlagen und Anwendungsmöglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik
By: J. Göttert, J. Mohr
Contributors: Mohr, J. (Jürgen); Universität Karlsruhe
Series: KfK (Series) -- 5153
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe
Published: 1993
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 76
Other titles: Fundamentals and potential applications of the LIGA technique in microoptics.
Notes: Summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1993.