Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Publisher: Springer; Springer Berlin Heidelberg
Published: Oct 21, 1994
Format: paperback
Number of pages: 126
ISBN-13: 9783540585114
Notes: Source title: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren (IPA-IAO - Forschung und Praxis) (German ... und Praxis (202)) (Delaware Edition)