Kinetische Untersuchungen zur katalysierten chemischen Gasphasenabscheidung von monokristallinen Siliciumnitrid-Filamenten
By: von Michael A. Guggenberger
Contributors: Universität Karlsruhe
Published: 1996
Language: ger
Number of pages: 100
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe (T.H.), 1996.