Plasma-aktivierte Gasphasenabscheidung von borhaltigen Hartstoffschichten aus metallorganischen Verbindungen des Zirkons und des Hafniums
By: Silvia Reich
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1993
Language: ger
Number of pages: 177
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität Tübingen, 1993.