Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien
Series: IPA-IAO Forschung und Praxis
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Published: 1998
Place of publication: Berlin, Heidelberg
Language: ger
Format: Elektronische Ressource
ISBN-13: 9783642479168
Subjects: Plasmatechnik; Plasmadiagnostik; Oberflächenbehandlung; In situ
Notes: Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA