Hochauflösende Elektronenstrahllithographie auf Röntgenmaskensubstraten
Subtitle: effekte der Elektronenstreuung und der Membranerwärmung
By: Klaus Reimer
Contributors: Technische Universität Berlin
Published: 1991
Language: ger
Number of pages: 132
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität Berlin, 1991.