Silicon containing polymers for chemically amplified resist applications
By: Robert Puyenbroek
Contributors: Rijksuniversiteit te Groningen
Publisher: [s.n.]
Published: 1995
Place of publication: [s.l.]
Language: eng
Number of pages: 119
Notes: Thesis (doctoral)--Rijksuniversiteit te Groningen, 1995.

Met lit. opg. - Met samenvatting in het Nederlands.