Approche électrochimique de quelques opérations de l'analyse technologique des circuits intégrés et étude particulière de la passivation de l'aluminium dans des milieux fluorés
By: Pascal Lamande
Contributors: Université de Rennes
Publisher: A.N.R.T. Université Pierre Mendès France Grenoble 2
Published: 1985
Place of publication: Grenoble
Language: fre
Notes: Thesis (doctoral)--Université de Rennes, 1985.