Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit beliebiger, ebener Oberflächengeometrie
By: Bernhard Bürg
Contributors: Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Datenverarbeitung in der Technik; Universität Karlsruhe. Fakultät für Maschinenbau
Series: KfK (Series) -- 4849
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
Published: 1991
Place of publication: Karlsruhe [Germany]
Language: ger
Number of pages: 117
Other titles: Parametrical optical measurement for the fabrication of microstructures with any geometry of plane surfaces.
Notes: Summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe.