Niekonwencjonalne układy magnetronowe do próżniowego nanoszenia cienkich warstw
By: Witold Michał Posadowski.
Publisher: Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
Published: 2001
Place of publication: Wrocław
Language: pol
Number of pages: 160
Subjects: Sputtering (Physics); Thin films.
Notes: Includes bibliographic references.