Auswirkung von Temperaturänderungen auf die Abbildungsgenauigkeit der Röntgenstrahllithographie zur Herstellung integrierter Schaltkreise
By: Jutta Trube
Contributors: Technische Universität Berlin
Published: 1992
Language: ger
Number of pages: 114
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität Berlin, 1992.