Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluss auf mechanische Schichtparameter
By: Peter Paduschek.
Published: 1983
Language: ger
Format: Microform
Number of pages: 91
Notes: Microfiche. Berlin : Data Informatic, 1983? 1 microfiche : negative ; 11 x 15 cm.
Thesis (doctoral)--Technische Universität München, 1982.