Entwicklung einer Plasmaquelle zur Hochratenabscheidung modifizierter Kohlenstoffschichten in einem Hybridverfahren
By: Lorenz Niederberger
Contributors: Universität Karlsruhe
Published: 2006
Language: ger
Number of pages: 173
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe (T.H.), 2006.