Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma
By: Andreas Weber
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1990
Language: ger
Number of pages: 132
Notes: Tübingen, Univ., Fak. f. Chemie u. Pharmazie, Diss. 1990.

Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1990.