Étude et synthèse de résines positives sensibles aux électrons et aux ranyons X utilisées dans les procédés de microlithographie
By: par Brigitte Serre
Contributors: Université des sciences et techniques du Languedoc
Published: 1984
Place of publication: [s.l.]
Language: fre
Number of pages: 243
Notes: Thesis (doctoral)--Université des sciences et techniques du Languedoc, 1984.