Ein oberflächenmikromechanischer Ein-Chip-Dreiachsen-Beschleunigungssensor aus Polysilizium
By: Beatrice Wenk
Contributors: Technische Universität Berlin
Edition: Mikrofiche-Ausg.
Publisher: [s.n.]
Published: 1998
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 123
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität Berlin, 1998.

Mikrofiche-Ausg. 1998. 2 Mikrofiches : 24x.