Zur Kinetik der Oxydation und Siliziumdiffusion in hochschmelzenden Silizidschichtsystemen
By: Klaus Matthias
Contributors: Universität Karlsruhe
Published: 1969
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 179
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe (T.H.), 1969.