Diagnostische und analytische Messungen am kapazitiv gekoppelten Mikrowellenplasma (CMP) unter Verwendung verschiedener Arbeitsgase
By: Nicolas-Hubert Bings
Contributors: Universität Dortmund
Published: 1996
Language: ger
Number of pages: 187
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Dortmund, 1996.