Aufbau und Erprobung eines Elektronenstrahl-Lithographie-Gerätes mit Feldemissionskathode und elektrostatischem Ablenker
By: von Ernst-Rudolf Weidlich
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1991
Language: ger
Number of pages: 118
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1991.