Dokumentation Genauigkeit von Laserinterferometersystemen
Subtitle: Grundlage, Prüfmethoden, Grenzwerte, Sicherheit, Beurteilung
By: zusammengestellt und herausgegeben vom VDI/VDE-GMA-Ausschuss 7.4--"Grundlagen der Längen- und Winkelmessung."
Contributors: VDI/VDE-GMA-Ausschuss 7.4--"Grundlagen der Längen- und Winkelmessung."; VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik.
Series: VDI-Berichte,; 750
Publisher: VDI-Verlag
Published: 1989
Place of publication: Düsseldorf
Language: ger
Number of pages: 160
Subjects: Laser interferometers -- Testing
Notes: Includes bibliographical references (p. 140-146) and index.
At head of title: VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik.