Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik
By: C. Burbaum, J. Mohr
Contributors: Mohr, J. (Jürgen); Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Mikrostrukturtechnik; Universität Karlsruhe. Fakultät für Maschinenbau
Series: KfK (Series) -- 4859
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
Published: 1991
Place of publication: Karlsruhe [Germany]
Language: ger
Number of pages: 64
Other titles: Fabrication of capacitive acceleration sensors by the LIGA technique.
Notes: Summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe.