Untersuchungen an mikrostrukturierten Bandpassfiltern für das Ferne Infrarot und ihre Herstellung durch Röntgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung
By: R. Ruprecht, W. Bacher
Contributors: Bacher, W.; Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Mikrostrukturtechnik; Universität Karlsruhe. Fakultät für Maschinenbau
Series: KfK (Series) -- 4825
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
Published: 1991
Place of publication: Karlsruhe [Germany]
Language: ger
Number of pages: 83
Other titles: Investigations of microstructurized bandpassfilters for the far infrared and their fabrication by means of deep-etch x-ray lithography and micro-electroforming.
Notes: Summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1991.