Experimentelle Untersuchungen der Synchrotronstrahlung zur hochauflösenden Lithographie für die Grösstintegration
By: Hans Betz.
Published: 1981
Language: ger
Format: Microform
Number of pages: 142
Notes: Microfiche. München [s.n.], 1981. 2 microfiches : negative ; 11 x 15 cm.
Thesis (doctoral)--Technische Universität München, 1981.