Praxiswissen Mikrosystemtechnik
Subtitle: Grundlagen, Technologien, Anwendungen
By: Friedemann Vo lklein ; Thomas Zetterer
Contributors: Zetterer, Thomas
Edition: 2., vollst. u berarb. und erw. Aufl.
Series: Vieweg Praxiswissen
Publisher: Vieweg
Published: 2006
Place of publication: Braunschweig [u.a.]
Language: ger
Number of pages: 491
ISBN-13: 9783528138912
Subjects: Mikrosystemtechnik
Notes: 1. Aufl. u.d.T.: Vo klein, Friedemann: Einfu hrung in die Mikrosystemtechnik.