Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung
Subtitle: aufbau einer PECVD-Anlage und Abscheidung von oxidischen Schichten
By: vorgelegt von Stefan Liebing
Contributors: Universität Tübingen
Publisher: [s.n.]
Published: 1997
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 60
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1997.