Epitaktische Abscheidung von monokristallinem Silizium bei reduziertem Totaldruck
By: Eike Krullmann
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1981
Language: ger
Number of pages: 124
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1981.