Modelle für Balken und Platten in der Mikromechanik
By: Andreas Schroth.
Edition: 1. Aufl.
Series: Dresdner Beiträge zur Sensorik ;; Bd. 1
Publisher: Dresden University Press
Published: 1996
Place of publication: Dresden
Language: ger
Number of pages: 136
Subjects: Microelectronics -- Mathematical models.; Microelectromechanical systems -- Mathematical models.; Detectors -- Simulation methods.; Actuators -- simulation methods.
Notes: Summary in English.
"Diese Arbeit wurde unter dem Titel 'Methoden und Modelle zur Beschreibung des Verhaltens balken- und plattenförmiger Verformungskörper der Mikromechanik' am 17.05.1996 als Dissertation an der Fakultät Elektrotechnik der Technischen Universität Dresden verteidigt"--Added t.p.
Includes bibliographical references.