Herstellung und Wachstum einkristalliner Si/CoSi₂/Si-Heterostrukturen nach Hochdosis-Ionenimplantation
By: von Karl Kohlhof
Series: Berichte der Kernforschungsanlage Jülich -- Nr. 2299
Publisher: Zentralbibliothek der Kernforschungsanlage
Published: 1989
Place of publication: Jülich
Language: ger
Number of pages: 88
Notes: Abstract in English.

Includes bibliographical references (p. 82-87)