Poröses Silicium für die Mikrooptik
Subtitle: Herstellung, Mikrostruktur und optische Eigenschaften von Einzelschichten und Schichtsystemen
By: Michael Götz Berger
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1996
Language: ger
Number of pages: 167
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1996.