Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen
By: Klaus-Dieter Sauter.
Series: IPA-IAO Forschung und Praxis ;; Bd. 149
Publisher: Springer
Published: 1990
Place of publication: Berlin; New York
Language: ger
Number of pages: 115
Subjects: Electronic industries -- Automation.; Semiconductors -- Design and construction.; Production engineering -- Data processing.
Notes: Includes bibliographical references (p. [106]-115).