Maskenloses laserinduziertes Trockenätzen von Indiumphosphid für die Integrierte Optik
By: von Rudolf Heydel
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1993
Language: ger
Number of pages: 108
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1993.