Untersuchungen zur Herstellung von Mikrostrukturen grosser Strukturhöhe durch Galvanoformung in Nickelsulfamatelektrolyten
By: S. Harsch, W. Ehrfeld, A. Maner
Contributors: Ehrfeld, Wolfgang, 1938-; Maner, A.; Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Kernverfahrenstechnik
Series: Kernforschungszentrum Karlsruhe -- 4455; KfK (Series) -- 4455
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe
Published: 1988
Place of publication: Karlsruhe [Germany]
Language: ger
Number of pages: 91
Other titles: Fabrication of microdevices with extreme aspect ratios by electroforming in nickel sulphamate electrolytes.
Notes: Text in German with summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe.