Charakterisierung der Remote PECVD am Beispiel der Deposition dünner oxidischer Filme aus metallorganischen Ausgangsverbindungen
By: von Hubert-Joachim Frenck
Contributors: Gesamthochschule Kassel
Published: 1991
Language: ger
Notes: Thesis (doctoral)--Gesamthochschule Kassel, Universität des Landes Hessen, 1991.