Schreibende Elektronenstrahllithographie mit Quasi-Shaped-Beam
By: Dirk Jan Beets
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1985
Language: ger
Number of pages: 136
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1985.