Synthesen, Reaktionen und Strukturen von Diazadien-Komplexen des Zirkoniums und Hafniums und Darstellung dünner Zirkoniumdioxid-, Hafniumdioxid- und Zirkoniumbornitridfilme über Remote-PECVD
By: von Christiane Trompke
Contributors: Universität Hamburg
Published: 1992
Language: ger
Number of pages: 100
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Hamburg, 1992.