Parameterstudien zur Synthese von Siliciumnitrid-Filamenten durch elsenkatalysierte chemische Gasphasenabscheidung
By: Britta Linner
Contributors: Universität Karlsruhe
Published: 1997
Language: ger
Number of pages: 170
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1997.

Includes bibliographical references (p. 161-168)