Untersuchung der elektrischen Eigenschaften dünner Schichten grosser Versetzungsdichte in Silizium mit einem Rasterelektronenmikroskop
By: Matthias Kolbe
Contributors: Universität zu Köln
Published: 1990
Language: ger
Number of pages: 101
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Köln, 1990.