Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
Series: IPA-IAO -- Forschung und Praxis
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Published: 1998
Place of publication: Berlin, Heidelberg
Language: ger
Format: Elektronische Ressource
ISBN-13: 9783662066560
Subjects: Ionitrieren; PECVD-Verfahren
Notes: Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA