Verfahren zur Herstellung von Dünnschichttransistoren mit Halbleiterschichten aus durch Kathodenzerstäubung hergestelltem amorphen Silizium
By: von Bernhard Jehl
Contributors: Universität der Bundeswehr München
Published: 1986
Language: ger
Number of pages: 87
Notes: Thesis (doctoral)--Universität der Bundeswehr München, 1986.