Siliziumschichten auf Siliziumdioxid mittels Flüssigphasenepitaxie
Subtitle: Herstellung und Charakterisierung von Schichtsystemen
By: Ralf Bernhard Bergmann
Contributors: Universität Stuttgart
Published: 1991
Place of publication: Stuttgart
Language: ger
Number of pages: 132
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Stuttgart.