Mechanische Relaxations-spektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik
By: von Frank Vollkommer
Series: Berichte der Kernforschungsanlage Jülich -- Nr. 2321
Publisher: Zentralbibliothek der Kernforschungsanlage
Published: 1989
Place of publication: Jülich
Language: ger
Number of pages: 82
Notes: Includes bibliographical references (p. 79-81)