Abscheidung, Untersuchung der mechanischen Eigenschaften und anwendungsbezogene Prüfung von TiN- und Al2O3-Verschleissschutzschichten, hergestellt nach dem Hochfrequenz-Kathodenzerstäubungsverfahren
By: Thomas Bernd Roth
Contributors: Technische Hochschule Darmstadt
Published: 1988
Language: ger
Number of pages: 170
Notes: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1989.

Thesis (doctoral)--Technische Hochschule Darmstadt, 1988.