Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben
By: P. Ruther, W. Bacher, K. Feit
Contributors: Bacher, W.; Feit, K.; Universität Karlsruhe; Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 5986; Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt) -- FZKA 5986
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 1997
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 91
Other titles: Development of a LIGA-made microtest system to determine mechanical properties of micro samples.
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1997.

Summary in English.