6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober, 2003
Publisher: Technische Universität Chemnitz
Published: 2003
Place of publication: Chemnitz
Language: ger
Number of pages: 218
Other titles: Sechste Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik; 6. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik--Mikromechanik & Mikroelektronik, Okt. 2003