Spektroskopische und röntgenographische Untersuchungen von Randzonenstörungen oberflächenbearbeiteter Silizium-Wafer
By: Janko Frerk Verhey
Contributors: Universität Hannover
Edition: Mikrofiche-Ausg.
Published: 1994
Language: ger
Number of pages: 79
Notes: Mikrofiche-Ausg.: 1 Mikrofiche : 24x.

Thesis (doctoral)--Universität Hannover, 1994.