Interaction d'ions de gaz rares de faible énergie avec des surfaces cristallines de silicium
Subtitle: implantation et dégats d'irradiation (étude par spectrométrie de désorption thermique, diffraction d'électrons lents et spectroscopie des électrons Auger)
By: Ahmed Taoufik
Contributors: Université Louis Pasteur de Strasbourg
Published: 1986
Language: fre
Notes: Thesis (doctoral)--Université Louis Pasteur de Strasbourg, 1986.