Verfahren zur Positionierung unterseitenstrukturierter Bauelemente in der Mikrosystemtechnik
By: Dirk Jacob
Series: Forschungsberichte IWB -- Bd. 167
Publisher: H. Utz
Published: 2002
Place of publication: München
Language: ger
Number of pages: 185
Other titles: Positionierung unterseitenstrukturierter Bauelemente