CVD of molybdenum from molybdenum hexafluoride
Subtitle: kinetics and reactor modelling
By: Edwin Nicolaas Orij
Contributors: Technische Universiteit Eindhoven
Publisher: Technische Universiteit Eindhoven
Published: 1997
Place of publication: Eindhoven
Language: eng
Number of pages: 159
ISBN-13: 9789038607689
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universiteit Eindhoven, 1997.

Met lit. opg. - Met samenvatting in het Nederlands.