Plasma-aktivierte Gasphasenabscheidung dünner harter Schichten aus einigen metallorganischen Verbindungen von Titan und Silizium
By: Javier Gregorio Ramirez Gómez
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1992
Language: ger
Number of pages: 160
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität Tübingen, 1992.