Hochauflösende piezoresistive Siliziumsensoren auf der Basis halbleitertechnologischer Standardprozesse
By: vorgelegt von Helmut Crazzolara
Contributors: Universität Stuttgart
Published: 1994
Language: ger
Number of pages: 118
Subjects: Silicon; Semiconductors
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Stuttgart, 1994.