Untersuchung der Elektronenemissionseigenschaften von mikrostrukturierten Meall-Isolator-Metall (MIM) Dünnschichtkathoden für die Parallel-Projizierende Elektronenstrahl-Lithographie
By: Reinhard Benz
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1995
Language: ger
Number of pages: 103
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität Tübingen, 1995.