Matériaux et technologies pour la microélectronique
Subtitle: tendances actuelles = Present trends in microelectronics materials and technologies : Université des sciences et techniques du Languedoc, Montpellier, France, 16 au 19 novembre 1976 : comptes rendus des travaux : colloque
By: organisé par la Société française du vide, avec le concours de la D.G.R.S.T. et la D.R.M.E.
Contributors: Société française du vide.; Le Vide (Nogent-sur-Marne)
Publisher: La Société
Published: 1977
Place of publication: Paris
Language: fre
Number of pages: 255
Subjects: Microelectronics -- Congresses.
Other titles: Present trends in microelectronics materials and technologies.
Notes: Includes bibliographical references.
French or English.
"Supplément au no 183 de la revue Le Vide."