Maskentechnik für Mikroelektronikbausteine
Subtitle: Tagung München, 14. November 1985
By: VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik.
Contributors: VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik.
Series: VDI Berichte,; 584; VDI-Berichte ;; 584.
Publisher: VDI
Published: 1985
Place of publication: Düsseldorf
Language: ger
Number of pages: 215
Subjects: Integrated circuits -- Masks -- Congresses.
Notes: Includes bibliographical references.
Table of contents: title: Maskenblanks, qualitätsbestimmende Faktoren / M. Maul und G. Sele; title: Lithographie für die Maskenherstellung / U. Böttiger und J. Wüstenhagen; title: Maskenreinigung und Defekterfassung / H. Feindt; title: Pellicles / G. Meyer; title: Herstellung fotolithographischer DUV-Arbeitsmasken mittels schreibender und projizierender lonenimplantation / F.G. Rüdenauer und G. Stangl; title: Röntgenmasken / H. Lüthje; title: Silizium-Transmissionsmasken für die Submicron-Elektronenstrahl-Lithographie / U. Behringer; title: Durchstrahlungsmasken für die lonenprojektionslithographie / H. Löschner; title: Die Zukunft der Maskentechnik / D. Sofronijevic.