Prozeßtechnologie
Subtitle: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
Series: Mikroelektronik
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Published: 1991
Place of publication: Berlin, Heidelberg
Language: ger
Format: Elektronische Ressource
ISBN-13: 9783662095409
Subjects: CMOS-Schaltung; Halbleitertechnologie
Notes: Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA