Integriertes magnetisches lagerungs- und antriebssystem f̈ur halbleiterwafer
By: Thomas Christian schneeberger
Contributors: Eidgen̈ossische Technische Hochschule Z̈urich
Published: 2008
Language: ger
Subjects: Machinery; Magnetic bearings; Electronics; Nanoelectronics
Notes: Thesis (doctoral)--Eidgen̈ossische Technische Hochschule Z̈urich, 2008.