Herstellung und Eigenschaften kathodisch aufgestäubter SiO2- und SiO2-polySi-Schichten für die MOS-Technologie
By: Klaus Haberle
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1978
Language: ger
Number of pages: 129
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1978.