Homogene Belichtung mit Hilfe von Spiegeln in der Röntgenstrahllithographie mit Synchrotronstrahlung
Subtitle: experimentelle Unters. u. Modellbeschreibung
Contributors: Technische Universität München
Published: 1984
Language: ger
Notes: Mikroreprod. e. Ms. 3, 102 Bl. : Ill., graph. Darst.

Thesis (doctoral)--Technische Universität München, 1984.