Polykristalline Siliziumkarbidschichten
Subtitle: Hergestellt durch chemische Reaktion von Kohlenwasserstoffen mit Siliziumsubstraten
By: Elmar Wagner
Contributors: Technische Universität München
Published: 1974
Language: ger
Number of pages: 18
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität München, 1974.