Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
By: Franz Richter
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Publisher: [s.n.]
Published: 1990
Place of publication: [S.l.]
Language: ger
Number of pages: 125
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1990.