Ein Beitrag zur Untersuchung der Elektronenstreuung und des Proximityeffektes an den Rändern inhomogener Strukturen bei der Elektronenstrahldirektbelichtung
By: Bernd Müller
Contributors: Universität-Gesamthochschule-Siegen
Published: 1989
Place of publication: Siegen
Language: ger
Number of pages: 137
Notes: Thesis (doctoral)--Universität-Gesamthochschule-Siegen, 1989.