Étude de résines négatives styréniques sensibles aux électrons utilisées dans les procédés de microlithographie
By: par Barnas Holil
Contributors: Université des sciences et techniques du Languedoc
Publisher: [s.n.]
Published: 1985
Place of publication: [s.l.]
Language: fre
Number of pages: 160
Notes: Thesis (doctoral)--Université des sciences et techniques du Languedoc, 1985.