Ionenstrahllithographie
Subtitle: Entwicklung eines 1:1 Proximity Projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-Masken
By: Laszlo Csepregi
Contributors: Technische Universität Berlin
Published: 1986
Language: ger
Number of pages: 125
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität Berlin, 1986.