Die Ladungsträgerbeweglichkeit in röntgenlithographisch hergestellten Submikron-MOS-Transistoren
By: Hans-Jürgen Wildau
Contributors: Technische Universität Berlin
Publisher: [s.n.]
Published: 1993
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Notes: Mikroreprod. eines Ms. Getr. Zählung : graph. Darst.

Thesis (doctoral)--Technische Universität Berlin, 1993.