MEMS in der Mikrosystemtechnik
Subtitle: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz Mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Publisher: Vieweg Verlag, Friedr, & Sohn Verlagsgesellschaft mbH
Published: 2015
Language: ger
ISBN-13: 9783663107781