Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung
By: Jürgen Mohr
Contributors: Kernforschungszentrum Karlsruhe. Institut für Kernverfahrenstechnik
Series: Kernforschungszentrum Karlsruhe -- 4414; KfK (Series) -- 4414
Publisher: Kernforschungszentrum Karlsruhe
Published: 1987
Place of publication: Karlsruhe [Germany]
Language: ger
Number of pages: 96
Other titles: Causes of defects and accuracy of structure reproduction in deep-etch X-ray lithography using synchrotron radiation.
Notes: Text in German with summary in English.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1987.