Reaktives Ionenätzen zur Herstellung von III/V-Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen
By: Manfred Joseph
Contributors: Universität Duisburg
Publisher: [s.n.]
Published: 1992
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 131
Notes: Thesis (doctoral)--Universität-GH-Duisburg, 1992.