Verfahren zur Bestimmung elektrischer Halbleiterparameter mit dem Raster-Elektronenmikroskop
By: Joseph Dieter Kamm
Contributors: Technische Universität München
Publisher: [s.n.]
Published: 1977
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 245
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität München, 1977.