Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau
Subtitle: Magnetron sputtered superhard amorphous carbon films with graded layer design
By: Michael Stüber
Contributors: Universität Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt -- FZKA 5919
Publisher: FZKA
Published: 1997
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 148
Other titles: Magnetron sputtered superhard amorphous carbon films with graded layer design.
Notes: Zsfassung in dt. und engl. Sprache.

Parallelsacht.: Magnetron sputtered superhard amorphous carbon films with graded layer design.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe (T.H.), 1997.