Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit groem Aspektverhaltnis
By: Timo Mappes, Sven Achenbach, Jurgen Mohr
Contributors: Forschungszentrum Karlsruhe; Mohr, Jürgen; Achenbach, Sven; Forschungszentrum Karlsruhe; Universität Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 7215; Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe) -- FZKA 7215
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 2006
Place of publication: Karlsruhe, [Germany]
Language: ger
Number of pages: 71
Other titles: High resolution x-ray lithography for the production of polymer submicron structures with high aspect ratio.
Notes: At head of title: Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft.

On cover: Marz 2006.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe (T.H.), 2006.

Summary in English.