Silizium-Planartechnologie
Subtitle: Grundprozesse, Physik und Bauelemente
Series: Teubner Studienbücher Physik
Publisher: Vieweg+Teubner Verlag
Published: 2003
Place of publication: Wiesbaden
Language: ger
Format: Elektronische Ressource
ISBN-13: 9783322800701
Subjects: Siliciumbauelement; Planartechnik
Notes: Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA