Kinetik der SiC-Abscheidung aus der Gasphase bei 750 bis 900ʻC und 1 bar Gesamtdruck
By: Farzin Salehomoum
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1991
Language: ger
Number of pages: 85
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1991.