Untersuchung der elektronenoptischen Eigenschaften von Ablenksystemen für die Anwendung elektronenlithographischer Bildaufzeichnung
By: Gerhard Kilger
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1980
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 87
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1980.