Actes de la 7e  me Confe rence europe enne sur les de po ts chimiques en phase gazeuse =
Subtitle: Proceedings of the seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition, Perpignan, France, 91-23 juin 1989
By: edited by M. Ducarroir, C. Bernard, L. Vandenbulcke.
Contributors: Ducarroir, M.; Bernard, C.; Vandenbulcke, L.
Series: Journal de physique -- tome 50, Colloque C-5
Publisher: Les Editions de Physique
Published: 1989
Place of publication: Les Ulis
Language: eng