Mikrosystemtechnik
Subtitle: Chemnitz '07 : Mikromechanik & Mikroelektronik : 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007
By: Technische Universität Chemnitz ; [Programmkomitee, W. Dötzel ... et al.].
Contributors: Dötzel, Wolfram.; Technische Universität Chemnitz.
Publisher: Technische Universität Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Published: 2007
Place of publication: Chemnitz
Language: ger
Number of pages: 154
ISBN-13: 9783000221682
Subjects: Microelectronics -- Congresses.; Micromechanics -- Congresses.
Genres: Congresses.
Other titles: Chemnitz '07; 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007; 8. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik & Mikroelektronik, Nov. 2007
Notes: Includes bibliographical references.