Simultane Sekundärionen- und Augerelektronen-Analytik an Beispielen aus Forschung und Technologie der Mikroelektronik
By: Klaus Masseli
Contributors: Gesamthochschule Kassel
Published: 1987
Place of publication: Kassel
Language: ger
Number of pages: 131
Notes: Thesis (doctoral)--Gesamthochschule Kassel, Universität des Landes Hessen, 1987.