Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch lonenimplantation
By: Chung I. Chiang
Contributors: Universität Karlsruhe
Published: 1995
Language: ger
Number of pages: 254
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1995.