Thermodynamische Modellierung der Systeme Al-C-N-Si,Al-N-O-Zn und C-O-Si-Zn und PVD-Herstellung piezoelektrischer Schichten aus dem System Al-N-O-Zn
By: Clemens Kunisch
Contributors: Universität Karlsruhe
Published: 1995
Language: ger
Number of pages: 172
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1995.