Versuche zur Synthese potentieller Precursoren fur die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrommolybdän und Wolframsiliciden
By: Thomas Steubing
Contributors: Universität zu Köln
Published: 1993
Language: ger
Number of pages: 134
Notes: Thesis (doctoral)--Universität zu Köln, 1993.