Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Edition: Dritte Auflage
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Published: 2004
Place of publication: Berlin, Heidelberg
Language: ger
Format: Elektronische Ressource
ISBN-13: 9783642187698
Subjects: Plasmadiagnostik; Niederdruckplasma; Hochfrequenzentladung; Lithographie; Ionenstrahlbearbeitung; Trockenätzen
Notes: Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA