Zonen unterschiedlicher Plasma-Wand-Wechselwirkungen in HF-Plasmaquellen mit zylindrischen Spulen grosser Windungszahl
By: vorgelegt von Bernd-G. Harmann
Contributors: Universität Hamburg
Published: 1998
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 159
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Hamburg, 1998.