Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik
By: Martin Oppermann
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1993
Language: ger
Number of pages: 92
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1993.