Mask technology for integrated circuits and micro-components
Subtitle: VortrŒage der GMM-Fachtagung vom 23. bis 24. Oktober 1996 in München
By: wissenschaftliche Tagungsleitung, U. Behringer ; Veranstalter, VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro-und Feinwerktechnik (GMM) in Zusammenarbeit mit Semiconductor Equipment and Materials International, Europe (SEMI-Europe)
Contributors: Behringer, Uwe.; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro-und Feinwerktechnik.; Semiconductor Equipment and Materials International.
Series: GMM-Fachbericht -- 16
Publisher: VDE-Verlag
Published: 1996
Place of publication: Berlin
Language: eng
Number of pages: 155
Subjects: Integrated circuits -- Masks -- Congresses.; Microelectronics -- Congresses.
Notes: Includes bibliographical references.