Strukturierung von Silizium mit niederenergetischen fokussierten Ionenstrahlen
By: Peter Werner Nebiker
Contributors: Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
Edition: Mikrofiche-Ausg.
Publisher: [s.n.]
Published: 1997
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 113
Notes: Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x.

Thesis (doctoral)--Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, 1997.