Plasma-aktivierte Abscheidung dünner Oxid-Filme des Yttriums, Bariums, Kupfers und Zirkoniums
By: von Helga Holzschuh
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1990
Language: ger
Number of pages: 156
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1990.