IC-Prozesskompatible anisotrop wirkende Ätzlösungen zur Herstellung integrierter Mikrosysteme in Silicium
By: Uwe Schnakenberg
Contributors: Technische Universität Berlin
Edition: Mikrofiche-Ausg.
Publisher: [s.n.]
Published: 1993
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 130
Notes: Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x.

Thesis (doctoral)--Technische Universität Berlin, 1994.