Ultracienkie warstwy tlenkowe w technice półprzewodnikowych przyrządów krzemowych
By: Jerzy Rużyłło.
Series: Prace naukowe / Politechnika Warszawska. Elektronika,; z. 62; Prace naukowe.; z. 62.
Publisher: Wydawnictwa Politechniki Warszawskiej
Published: 1983
Place of publication: Warszawa
Language: pol
Number of pages: 150
Subjects: Metal oxide semiconductors.
Other titles: Sverkhtonkie obksidnye plenki v tekhnike poluprovodnikovykh kremnievykh priborov.; Ultrathin oxides in silicon semiconductor devices.
Notes: Bibliography: p. [128]-146.
Cover title.
Titles on p. [2] of cover: Sverkhtonkie oksidnye plenki v tekhnike poluprovodnikovykh kremnievykh priborov; Ultrathin oxides in silicon semiconductor devices.
Summary in English and Russian.