Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits
By: von Flurin-Andry Sarott
Contributors: Universität Zürich
Published: 1990
Language: ger
Number of pages: 179
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Zürich, 1990.