Mikrosystemtechnik--Wachstum ins Kleine
By: Wolfram Dötzel
Series: Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig. Technikwissenschaftliche Klasse -- Bd. 2, Heft 1
Publisher: Verlag der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig; In Kommission bei S. Hirzel
Published: 2006
Place of publication: Leipzig; Stuttgart
Language: ger
Number of pages: 25
ISBN-13: 9783777614434
Subjects: Microelectronics; Microtechnology; Microelectromechanical systems
Notes: Includes bibliographical references (p. [26]).