Modellunterstützte Auslegung berührungsloser Ultraschallgreifsysteme für die Mikrosystemtechnik
By: Michael Heinz
Series: Forschungsberichte IWB -- Band 254
Publisher: Herbert Utz Verlag
Published: 2012
Place of publication: München
Language: ger
Number of pages: 258
ISBN-13: 9783831641475
Subjects: Ultrasonic waves; Industrial applications; Microelectronics
Notes: Doctoral Technische Universität München 2011.

Includes bibliographical references (pages 181-204).