Innovative Fertigungsverfahren für neue Produkte auf der Basis dünner Silizium-Bauelemente
Subtitle: Ergebnisbericht des BMBF Verbundprojektes "InnoSi"
By: Autoren, Detlef Oelgeschläger ... [et al.] ; Projektträger, Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, Projektträger des BMBF für Produktion und Fertigungstechnologien ; [Herausgeber, Christof Landesberger].
Contributors: Oelgeschläger, Detlef.; Landesberger, Christof.; Forschungszentrum Karlsruhe.; Germany. Bundesministerium für Bildung und Forschung.; Fraunhofer Institute IZM.
Publisher: Fraunhofer IRB
Published: 2004
Place of publication: Stuttgart
Language: ger
Number of pages: 144
ISBN-13: 9783816764618
Subjects: Semiconductor wafers -- Design and construction; Silicon crystals; Thin film devices -- Design and construction
Other titles: InnoSi; Abschlussbericht "InnoSi"