Untersuchungen zur Plasmapolymerisation - Anlagenkonzeption, Prozessanalyse und Schichteigenschaften
Subtitle: Investigations into plasma polymerization - equipment conception, process analysis and film properties
By: Peter Plein
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Publisher: [s.n.]
Published: 1988
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 186
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1988.