Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an Oxidischen Dünnschichtsystemen
Subtitle: Der Einfluß Ionenbeschußindizierter Prozesse Auf Die Sekundärteilchenemission Im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen
Publisher: Deutscher Universitäts Verlag
Published: 2013
Language: ger
ISBN-13: 9783663145585