Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie
By: Jürgen Eberle
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1990
Language: ger
Number of pages: 117
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1990.