Laserbasierte Bauteillagebestimmung bei der Montage optischer Mikrokomponenten
By: Tobias Zeilinger
Series: Forschungsberichte IWB -- Band 269
Publisher: Herbert Utz Verlag
Published: 2013
Place of publication: München
Language: ger
Number of pages: 201
ISBN-13: 9783831642342
Subjects: Microelectronics; Microfabrication; Lasers; Industrial applications
Notes: Added thesis title page inserted.

Doctoral Technische Universität München 2012.

Includes bibliographical references (pages 179-201).