Auswirkung der Präzipitation von Sauerstoff in Silizium auf ausbeuterelevante Parameter bei der Bauelementeherstellung
By: Günther Obermeier
Contributors: Universität Kiel
Published: 1999
Language: ger
Number of pages: 212
Notes: Thesis (doctoral)--Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, 1999.