Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten
Subtitle: Herstellung und Charakterisierung
By: Jochen Puchalla ; Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Festkörperforschung (IFF), Elektronische Materialien (IFF-6).
Contributors: Forschungszentrum Jülich. Institut für Festkörperforschung. Elektronische Materialien.
Series: Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Informationstechnik -- Bd. 17 = -- Information technology -- v. 66
Publisher: Forschungszentrum Jülich, Zentralbibliothek
Published: 2007
Place of publication: Jülich
Language: ger
Number of pages: 164
ISBN-13: 9783893364923
Subjects: Ferroelectric thin films.; Metal organic chemical vapor deposition.
Notes: "Ferroelectric crystalline thin films (FeRAM) are a possible replacement for Flash- and DRAM-memory ... lead zirconate titanate (PZT) ... PBZT films"--P. 5

Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2007.

Includes bibliographical references (p. 147-154).

Text in German with abstracts in English and German.