Oberflächenmikromechanik-Sensoren als elektrische Teststrukturen zur Charakterisierung ihrer Herstellungsprozesse
By: Matthias Maute
Contributors: Universität Tübingen
Published: 2002
Language: ger
Number of pages: 136
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 2002.