Theoretische und experimentelle Untersuchungen von verkleinernden dreilinsigen Abbildungssystemen für die Vielstrahl- Elektronenlithographie mit der Kammsonde
By: Wei Wu
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1996
Language: ger
Number of pages: 66
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1996.