Untersuchungen zur plasmaaktivierten Abscheidung von eisenhaltigen amorphen Kohlenwasserstoffschichten aus metallorganischen Precursorn
By: Wolfram Luithardt
Contributors: Universität Hamburg
Published: 1996
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 137
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Hamburg, 1996.