CIP 85
Subtitle: 5ème Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique, Palais des Congrès d'Antibes, 10 au 14 juin 1985 = 5th International Colloquium on Plasmas and Sputtering
By: organisé par la Société française du vide, Paris, France, avec le concours de la Direction des industries électroniques et de l'informatique du Ministère du redéploiement industriel et du commerce extérieur.
Contributors: Société française du vide.; France. Direction des industries électroniques et de l'informatique.
Publisher: SFV
Published: 1985
Place of publication: Paris
Language: fre
Number of pages: 339
Subjects: Plasma (Ionized gases) -- Congresses.; Sputtering (Physics) -- Congresses.
Other titles: Vide, les couches minces. No 226 (Supplement); Comptes-rendus des travaux du 5e Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique.
Notes: Includes bibliographies.
French and English.
Cover title: Comptes-rendus des travaux du 5e Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique.
"Supplément à la révue 'Le vide, les couches minces' no 226 (mars-avril 1985)"