Herstellung von sub-[mu]m CoSi₂-Strukturen mit dem fokussierten Ionenstrahl
By: Henning Andreas Fuhrmann
Contributors: Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
Published: 2000
Language: ger
Notes: Thesis (doctoral)--Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, 2000.