_m63FEMOS [MyFEMOS] - Mikro-Fertigungstechniken fu r hybride mikrooptische Sensoren
By: von Manfred Ba r (Hrsg.)
Series: Schriftenreihe des Instituts fu r Angewandte Informatik, Automatisierungstechnik am Karlsruher Institut fu r Technologie -- Bd. 10
Publisher: Univ.-Verl. Karlsruhe
Published: 2005
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 91
ISBN-13: 9783937300955
Subjects: Mikrosensor; Modulbauweise; Optischer Sensor; Fertigungstechnik; Optoelektronik; Mikrooptik
Notes: Hergestellt on demand. - Auch im Internet uter der Adresse http://www.uvka.de/univerlag/volltexte/2005/96/pdf/Baer_AIA_10.pdf