Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen
Series: IPA-IAO Forschung und Praxis
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Published: 1990
Place of publication: Berlin, Heidelberg
Language: ger
Format: Elektronische Ressource
ISBN-13: 9783642479410
Subjects: Sachmerkmal; Halbleitertechnologie; Informationsspeicher; Fertigungsablauf
Notes: Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA