Mikrowärmeleitfähigkeitssensor in Siliziumtechnologie für die Analyse von zwei- und dreikomponentigen Gasgemischen
By: Gerhard Pollak-Diener
Contributors: Technische Universität Berlin
Publisher: [s.n.]
Published: 1990
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 117
Notes: Thesis (doctoral)--Technische Universität Berlin, 1990.