Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter
By: Anderer, B. u.a.
Contributors: Ehrfeld, Wolfgang, 1938-; Mohr, J. (Jürgen); Universität Karlsruhe
Series: KfK -- 4702; KfK (Series) -- 4702
Publisher: KfK
Published: 1990
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 95
Notes: Zugl.: Karlsruhe, Univ., Fak. f. Maschinenbau, Diss., 1989. - Mit engl. Zsfassung.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1989.