VHF-Plasmaabscheidung von mikrokristallinen Silizium ([mu]c-Si:H)
Subtitle: Einfluss der Plasmaanregungsfrequenz auf die strukturellen und elektrischen Eigenschaften
By: Peter Hapke
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1995
Language: ger
Number of pages: 101
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1995.