Herstellung von Ta₂O₅-Dielektrika mit 400-V-Spannungsfestigkeit und deren Anwendung in Dünnschichttransistoren
By: Gilbert Mörsch
Contributors: Universität Stuttgart
Publisher: [s.n.]
Published: 1988
Place of publication: [s.l.]
Language: ger
Number of pages: 143
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Stuttgart, 1988.