Entwicklung, Herstellung und Erprobung mikromechanischer Druck- und Durchflusssensoren für pneumatische Anwendungen
By: Jörg Martin
Contributors: Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt; Universität Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 6222; Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt) -- FZKA 6222
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 1998
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 95
Other titles: Development manufacturing and testing of micromechanical pressure and volume-flow transducers for pneumatic applications.
Notes: At head of title: Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt.

Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1998.

Summary in English.