Secondes Journées d'études sur la gravure sèche en microélectronique
Subtitle: 22 au 24 novembre 1983, Institut des sciences nucléaires de Grenoble (France)
By: organisées par la Société française du vide.
Contributors: Université scientifique et médicale de Grenoble. Institut des sciences nucléaires.; Société française du vide.
Publisher: La Société
Published: 1983
Place of publication: Paris
Language: fre
Number of pages: 270
Subjects: Semiconductors -- Etching -- Congresses.; Microlithography -- Congresses.
Other titles: Vide, les couches minces. No 218 (Supplement); Gravure sèche en microélectronique.
Notes: Includes bibliographies.
English and French.
Cover title: La gravure sèche en microélectronique.
"Le Vide, les couches minces ... supplément au no 218"--Cover.