Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern
By: Klaus-Dieter Muller
Contributors: Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt; Universität Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 6254; Wissenschaftliche Berichte (Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt) -- FZKA 6254
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 1999
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 83
Other titles: Fabrication of movable metal microstructures onto processed silicon wafers.
Notes: At head of title: Forschungszentrum Karlsruhe, Technik und Umwelt.

Thesis (doctoral)--Universitat Karlsruhe, 1999.

Summary in English.