Elektronenmikroskopische Untersuchungen zur Kristallisation von Siliziumnitridschichten
By: Udo Bussmann
Contributors: Universität Dortmund
Publisher: Univ
Published: 1988
Place of publication: Dortmund
Language: ger
Number of pages: 102
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Dortmund, 1988.