Aufbringung von Siliziumoxidschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht
By: Christian Bayer
Contributors: Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
Published: 1998
Language: ger
Notes: Thesis (doctoral)--Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, 1998.