Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Series: IPA-IAO Forschung und Praxis
Publisher: Springer Berlin Heidelberg
Published: 1994
Place of publication: Berlin, Heidelberg
Language: ger
Format: Elektronische Ressource
ISBN-13: 9783642478925
Subjects: Ionenbestrahlung; PVD-Verfahren; Prozessoptimierung
Notes: Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA