Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung
By: Dominik Güttler
Series: Wissenschaftlich-technische Berichte -- FZR-411
Publisher: Forschungszentrum Rossendorf
Published: 2004
Place of publication: Dresden
Language: ger
Number of pages: 90
Notes: "November 2004."