Synthesen, Reaktionen und Strukturen von 1,4-Diaza-1,3-butadien(DAD)-Komplexen des Ti, Ba, Y und Yb und Anwendung von DADTi-Komplexen zur Abscheidung von Titan-Nitrid-Schichten über das R-PECVD-Verfahren
By: von Hans Joachim Rieger
Contributors: Universität Hamburg
Published: 1992
Language: ger
Number of pages: 113
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Hamburg, 1992.