Elektrische Prüfung von Verdrahtungsnetzwerken der Mikroelektronik mit fokussierten Elektronenstrahlen
By: von Ralf Schmid
Contributors: Universität Tübingen
Published: 1993
Language: ger
Number of pages: 115
Notes: Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1993.