Ion beam studies of silicon oxynitride and silicon nitroxide thin layers
By: Johannes Bernardus Oude Elferink
Contributors: Rijksuniversiteit te Utrecht
Publisher: [s.n.]
Published: 1989
Place of publication: [s.l.]
Language: eng
Number of pages: 121
Notes: Auteur op omslag: Jos Oude Elferink.

Thesis (doctoral)--Rijksuniversiteit te Utrecht, 1989.

Lit.opg. - Met samenvatting in het Engels en Nederlands.