Intelligentes Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik
By: M. Strohrmann, J. Mohr, J. Schulz
Contributors: Mohr, J.; Schulz, J.; Forschungszentrum Karlsruhe. Technik und Umwelt; Universität Karlsruhe
Series: Wissenschaftliche Berichte -- FZKA 5561
Publisher: Forschungszentrum Karlsruhe
Published: 1995
Place of publication: Karlsruhe
Language: ger
Number of pages: 118
Notes: Thesis (doctoral)--Universität Karlsruhe, 1995.