Modellierung einer Niederdruckabscheidung von SiO₂
By: Herbert Huppertz
Contributors: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
Published: 1980
Language: ger
Number of pages: 105
Notes: Thesis (doctoral)--Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1980.